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ICM-E 系列集成電路電子級超純水系統(tǒng)

駭思HyperPureX ICM-E系列集成電路電子級超純水系統(tǒng)以嚴(yán)謹(jǐn)?shù)暮弦?guī)性指導(dǎo)系統(tǒng)的設(shè)計、制造、安裝和驗證的全過程，以模塊化的設(shè)計集成了多介質(zhì)過濾、活性炭吸附、軟化、二級RO2nd、脫氣、EDI、超濾、紫外殺菌和TOC降解、樹脂超純化、以及終端微濾各純化單元，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓及液晶屏清洗、芯片等各種精密電子元器件的加工和制造。